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特种废气
电子产品生产过程中化学气相淀积、扩散、外延、离子注入、干法刻蚀等工艺设备散发的含有毒性、腐蚀性、氧化性、自燃性、可燃性、惰性等物质的废气。
来源:《电子工业废气处理工程设计标准 GB51401-2019》
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