电子工业生产过程中化学气相淀积、干法刻蚀等工序使用的具有高全球变暖潜能（GWP）的氟化合物，包括全氟化合物和氢氟碳化物（HFCs），如四氟化碳（CF4）、六氟乙烷（C2F6）、八氟丙烷（C3F8）、八氟环丁烷（c-C4F8）、三氟化氮（NF3）、六氟化硫（SF6）和三氟甲烷（CHF3）。上述的全氟化合物和氢氟碳化物在工业界统称为全氟化合物。
来源：《电子工业废气处理工程设计标准 GB51401-2019》