用具有一定能量和强度的粒子束轰击检材物质，根据检材物质被激发或反射的X射线的能量和强度的关系图（称为能谱），实现对检材的非破坏性元素分析、结构分析和表面物化特性分析的方法。
来源：《电气火灾痕迹物证技术鉴定方法 第7部分:EDS成分分析法 GB/T16840.7-2021》