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自动物料处理系统
在硅集成电路芯片工厂内部将硅片和掩模板在不同的工艺设备或不同的存储区域之间进行传输、存储和分发的自动化系统。
来源:《硅集成电路芯片工厂设计规范 GB50809-2012》
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Archiver|手机版|小黑屋|牛马Next ( 苏ICP备17047105号-6 )Published by Stonespider

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