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还原尾气干法回收
一种相对于传统湿法回收尾气工艺的方法,利用尾气中各组分物理化学性质的差异采用冷凝、吸收、解析、吸附等方法,将其逐一分开回收、提纯,再重新返回生产系统循环利用。
来源:《多晶硅工厂设计规范 GB51034-2014》
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